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使用激光光源的 3D 测量仪器。具有快速测量及强抗振性可适用于In-Line作业。即使高度较高的样本也可以使用拼接功能进行测量。 内置自动对焦功能可提供测量数据的3D视图、剖面图和过滤等分析功能。
检查触摸屏面板 (TSP) ITO 图案的设备。检查机使用PDLC元件通过影像确认ITO图案的缺陷 (短路/交叉结合),使用线性扫描仪进行全检。
使用激光检修ITO图案缺陷部分的设备。 通过检查机减少不良率以及通过修复设备维护不良品,从而提高产品生产能力。
检查掩膜板 waveness 的设备。