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FT基板上蒸镀有机元素 R、G、B时所使用的金属掩膜板的制作设备。作为AMOLED的核心工程设备,以多年的制作经验为基础,通过超精密位置控制和自动算法, 提高金属掩膜板的精度。
检测已制作完成的OLED金属掩膜板的设备。是对精密控制和精密视觉有严格要求的设备。
IQC(入料检查机)是焊接前检查金属掩膜板的设备,是检查掩膜板的TP、CD、异物或蚀刻状态并判定不良及等级的设备。
AOI(自动光学检查设备)通过精密光学装置、图像处理算法及数据处理能力在掩膜板上检查异物并利用等离子去除异物的设备。
使用激光切割掩膜板在OLED张网机制作完成后的多余部分的设备。切割面干净且采用微尘防飞散结构,自动化代替手动操作,是G6H以上的大型尺寸必需的设备。
在Stocker Docking的产线中将需要修复的掩膜板装载后, 去除该金属掩膜板及研磨其框架的设备。具有机台80度可倾斜和超声波研磨功能。
OLED金属掩膜板从设备中装载/卸载的设备(移动台车)。确保掩膜板不受损伤地精准运输。