OLED 장비
OLED 장비소개.
01. OLED MASK 인장기
TFT기판에 유기 소자인 R,G,B를 증착시키기 위한 FMM Mask를 제작하는 장비 입니다. AMOLED의 핵심 공정 장비로써 다년간의 제작 경험을 바탕으로 초정밀 위치 제어와 자동 알고리즘을 통하여 FMM Mask의 정밀도를 높일 수 있습니다.
02. PPA측정기
제작 완성된 OLED FMM Mask를 측정하는 장비입니다.
정밀 제어와 정밀 Vision 사양이 요구되는 장비입니다.
03. Incoming Quality Control
IQC(입고검사기)는 FMM 스틱을 용접전 검사하는 장비로서 FMM의 TP, CD, 이물 혹은 과/미에칭 상태를 확인하여 양불 및 등급을 판정하는 장비입니다.
04. Automatic Optical Inspection
AOI(자동광학검사장비)는 정밀 광학장치, 화상처리 알고리즘 및 데이터 처리 능력을 통하여 마스크 상에 이물 확인하고 이물을 플라즈마를 이용하여 제거하는 장비입니다.
05. Mask Trimming Machine
OLED Mask 인장기에서 제작 후 잔여 부분을 레이저를 이용하여 절단하는 장비입니다. 절단면이 깨끗하고 Particle 비산 방지 구조 적용하였으며, 수동으로 하던 작업을 자동으로 대체하는 장비로 특히 G6H 이상의 대형 사이즈에 필수적입니다.
06. Mask Repair Machine
Stocker Docking된 라인 구성에서 Repair가 필요한 마스크를 로딩한 후 해당 FMM Sheet의 제거, Frame 연마 작업을 하는 장비입니다. Stage 80도 Tilting 및 초음파 연마 기능 이 있습니다.
07. MGV
OLED FMM Mask를 장비에서 Loading/Unloading 역할을 하는 장비(이동대차)입니다. Mask가 손상되지 않도록 정밀하게 이송을 합니다.